（1）煙氣經過管道收集，在進入煙氣治理設備之前先經過管道過濾器粗濾，防止大顆粒物進入處理設備，給設備造成影響。
（2）煙氣粗濾后進入預處理模塊，預處理模塊采用油煙分離板構造，將煙氣中夾雜的焦油、粉塵去除。
（3）經過預處理模塊除油煙后，煙氣進入設備的核心處理區(qū)域----等離子凈化區(qū)，等離子凈化采用注入式等離子發(fā)生裝置。外界新鮮空氣經低溫等離子發(fā)生裝置，得到等離子體送入等離子凈化區(qū)。在等離子凈化區(qū)，大部分煙氣分子被等離子體轟擊、氧化后變成無毒、無色、無味的氣體。
（4）夾雜著部分低溫等離子體的煙氣到達光化學模塊。高強輻照場對煙氣成份有破壞作用并產生活潑的次生氧化劑；煙氣成份在氧化劑和光的協同作用下持續(xù)發(fā)生氧化分解，最終生成二氧化碳和水。
（5）超微凈化模塊設有順流循環(huán)噴淋系統、錯流循環(huán)噴淋系統、重力沉降、碰撞除塵、氣流均布裝置，可以去除微小粉塵，滿足排放標準。
（6）整個煙氣治理設備中均設計有自清系統，利用循環(huán)水對系統進行自動清潔。在光化學區(qū)和超微凈化模塊所產生的廢水經過濾系統的過濾后循環(huán)利用。
（7）氣體在排放前，再經過機械除霧區(qū)。在除霧區(qū)內，氣體中夾帶的水霧在折流板功能段內凝聚、滴落。
（8）除霧后，優(yōu)于國家排放標準的氣體通過引風機排入大氣。